AIG Planungs- und Ingenieurgesellschaft

Halbleiterfabrik, Reutlingen

Um die Fertigungskapazitäten für Halbleiter zu erhöhen und als Einstieg in die 200 mm Halbleiter-Technologie war die 1995 in Gebäude Rt 141 errichtete Chipfertigung zu erweitern. Zuvor mussten dafür rund 14 000 m² Labor-, Prüfstands- und Büroflächen verlagert und Bestandsgebäude abgebrochen werden.

Der Neubau ist durch einen Zwischenbau vom Bestandsgebäude Rt 141 getrennt, der die Funktion des zentralen Stoffeingangs und Umkleiden für beide Reinraumbereiche beinhaltet. Gleichzeitig dient er der brandschutztechnischen Trennung der Fertigungsflächen.

Aufgrund der hohen Schwingungsanforderungen ist die Fertigungsebene von den umgebenden Bauteilen entkoppelt und mit einem Stahltragwerk über 50 m freitragend überspannt. Diese Schwingungsdämpfung ermöglicht eine Fertigungsgenauigkeit im Nano-Bereich. Ein dreigeschossiger Anbau auf der Westseite nimmt die neuen Umkleiden, Pausen- und Büroflächen auf, auf der Nordseite konnten weitere Büroflächen unterhalb der Fertigung angeordnet werden. Die Chipfertigung befindet sich im zweiten Obergeschoss. Sie wird von den zwei darunterliegenden Ebenen mit Medien versorgt und von der darüberliegenden Technikebene belüftet.

Nutzungen und Gebäudestruktur sind in der Fassadengestaltung ablesbar. Dabei wird der Fertigungsbereich durch eine großflächige Verglasung hervorgehoben, die mit Dünnschicht- photovoltaik ausgestattet ist. Durch dünne transparente Streifen bleibt die Fassade durchsichtig, der Wärmeenergieeintrag wird stark reduziert. Die Dachflächen werden ebenfalls für Photovoltaik genutzt.

Ergänzt wird die WaferFab durch das dreigeschossige und unterkellerte Gebäude Rt 144, das der Energieversorgung, Abwasseraufbereitung und Gasversorgung dient.

Projektdetails

Bauherr: Robert Bosch GmbH
Gebäudetyp: Neubau
Fertigstellung: Januar 2009

Durch die weitere Nutzung der Seite stimmen Sie der Verwendung von Cookies zu. Weitere Informationen

The cookie settings on this website are set to "allow cookies" to give you the best browsing experience possible. If you continue to use this website without changing your cookie settings or you click "Accept" below then you are consenting to this.

Close